微量杂质测量技术的复杂性往往因应用而异。我们的在线杂质分析仪系列可连续测量许多工艺中的微量杂质。要求更苛刻的应用需要通过工业气相色谱仪对气体进行采样。这可以将复杂气体混合物中更广范围杂质的检测下限降至ppb水平。
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微量杂质测量技术的复杂性往往因应用而异。我们的在线杂质分析仪系列可连续测量许多工艺中的微量杂质。要求更苛刻的应用需要通过工业气相色谱仪对气体进行采样。这可以将复杂气体混合物中更广范围杂质的检测下限降至ppb水平。
我们的微量杂质测量仪系列采用三种不同的传感技术:
这些探测器都可以集成到气相色谱仪中，以根据特定的工业需求调整其功能。同时我们还提供防爆或便携式气相色谱仪解决方案。可以直接购买 Ldetek 专有的等离子体发射探测器(PED)，将其集成到气相色谱仪中。另外还有水分和氧测量传感技术，从而扩大微量杂质检测范围。我们还生产惰性气体净化、气体混合和多气流选择配件，可单独使用或集成到19”柜体中。