工业气体可分为大宗气体、特种气体和高纯度气体。PST 的分析仪系列可测量氧以及其他杂质。AII 的 Pico-Ion 传感器可在氮(N2)、氩(Ar)、氦(He)和氢(H2)等半导体级高纯气体中可靠、可重复地测量氧气，小输出范围从 0 到 50ppb 的氧气(十亿分之一)，低检出限 <100ppt O2(万亿分之一)。即使气体纯度得到认证，从钢瓶到使用点的传输系统也必须具有高的完整性，因为大气中大约有 210,000 ppm 的氧气，所以推荐使用点分析仪。对于膜或 (V)PSA 分离器，我们的 Mogas、GPR-3100 或 XTP501 分析仪可以测量所产生氧气的纯度。